北方集成电路取得一种进气装置专利，使反应气体混合更充分流气更稳定

　　国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心有限公司取得一项名为“一种进气装置”的专利，授权公告号CN 222411814 U，申请日期为2024年5月。

　　 专利摘要显示，本申请提供一种进气装置，用于将反应气体传输至反应腔室内，包括导流板和匀气腔室，导流板被设置于匀气腔室内顶部，导流板包括中心区域和边缘区域，边缘区域被配置有第一通孔供反应气体通过，反应气体通过导流板后，经由匀气腔室流出至所述反应腔室内。本申请的进气装置能够在反应气体进入进气装置时减少管路之间的互相污染以及气体对流产生的气旋，使反应气体混合更加充分、流气更加稳定，并且能够减少中心气体流量，使流气更均匀，增加气体到达晶圆表面的均匀性。

　　 天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币，实缴资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心有限公司参与招投标项目22次，知识产权方面有商标信息6条，专利信息238条，此外企业还拥有行政许可122个。