江苏元宇汇芯取得一种高精度差分电容式 MEMS 压力传感器专利，提高了电容值变化量与气压或压力变化量之间的线性度

　　国家知识产权局信息显示，江苏元宇汇芯电子科技有限公司取得一项名为“一种高精度差分电容式 MEMS 压力传感器”的专利，授权公告号 CN 222318294 U，申请日期为 2024 年 5 月。

　　 专利摘要显示，本实用新型公开了一种高精度差分电容式 MEMS 压力传感器，包括从上至下依次设置的顶板层、上键合层、敏感结构层、下键合层和底板层；所述顶板层、敏感结构层和底板层的中部分别对应设置有顶层电容极板、敏感层电容极板和底层电容极板，所述顶层电容极板上设置有若干个贯穿的顶层气孔；所述顶层电容极板与敏感层电容极板之间设置有与顶层气孔连通的上电容间隙，所述敏感层电容极板与底层电容极板之间设置有真空密封的下电容间隙；所述敏感结构层包括敏感层边框和敏感层电容极板，所述敏感层边框的中部设置有敏感层电容极板，且敏感层电容极板的周侧通过敏感层弹性薄膜与敏感层边框连接。本实用新型增强了对共模信号的抑制，提高了输出信号的信噪比；同时提高了电容值变化量与气压或压力变化量之间的线性度，具有较好的实用性。

　　 天眼查资料显示，江苏元宇汇芯电子科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏元宇汇芯电子科技有限公司知识产权方面有商标信息2条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可3个。